次世代コントローラ
NXシリーズ EtherCAT® スレーブユニット
NX-ECT101オムロン
EtherCAT対応で高速データ交換を実現
EtherCAT 自律分散システムで、半導体装置の付加価値向上
ウェハプロセス制御の再現性を確保
ウェハプロセス制御以外を自律分散モジュール化することで、メインコントローラのリソースを、プロセス制御に集中させます。
さらに高速・低ジッタでリアルタイム性のあるEtherCATを採用することで再現性を確保します。
装置設計リードタイム短縮
分散モジュール化することで並行開発が可能。さらにNX-ECT101を使用しEtherCATに統一することで、習得するツールが減少します。
使用するSysmac Studioは、モーション・セーフティ・センシングまでの開発環境を統合したオートメーションソフトウェアです。
そのため、設計リードタイムや設計者育成期間が短縮できます。
フットプリントの削減
NXシリーズは、制御と安全を合わせても、幅102mm。
他社と比べ48%*1スリム化し、フットプリントの削減に貢献します。
メンテナンス性向上
パソコンを持ち込んでツールを操作する必要がなく、SDメモリカードだけでプログラムのアップデートが可能。また、プログラムを誤操作で書き換えることがないため、簡単・確実にメンテナンスすることができます。