FCMCKD
流量センサ機能・比例制御機能・バルブ機能をユニット化し、必要な流量のコントロールをする機器です。
業種：シールドガス、N2パージ関連機器、理化学分析装置
産業用ネットワーク通信として信頼性の高いRS-485に対応。
IO-Link通信によってデータ収集に加えて上位からの遠隔操作が可能。
センサ・電磁比例弁の劣化を検知する自己検知に加え、周辺システムも含めた異常を検知します。IO-Linkで警告信号の出力が可能。
空気、窒素：0.015~50ℓ/min
アルゴン：0.015~50ℓ/min
酸素、都市ガス、メタン、プロパン：0.015~10ℓ/min
水素、ヘリウム：0.06~20ℓ/min
流量値を3桁でデジタル表示。
エラー表示の他、出力状態（スイッチ出力ON-OFF）を表示。
シリコンマイクロマシニングを応用した白金センサチップの採用で、0.5secの高速制御が可能。
再現性：±１%F.S.
精度：±3%F.S.
