新商品情報

小形流量センサ ラピフロー(R)

FSM3CKD

【NEW】耐環境仕様(IP65)追加
1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応可能な流量センサです。

業種:シールドガス、半導体製造工程(後工程)、N2パージ関連機器

CKD 小形流量センサ ラピフロー(R) FSM3のイメージ

【NEW】耐環境仕様(IP65)追加

粉塵のある環境、メンテナンス時や清掃時に水がかかっても安心してご使用いただける保護構造IP65タイプを追加。
オプションで欧州防爆指令(ATEX)にも対応。

ステンレスボディタイプ

流量レンジ:最大1000ℓまで拡大。
1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応。
酸素専用のモデルもご用意(禁油仕様)。
JXR継手タイプ、二重くい込み継手タイプの2つの継手とねじ込みタイプから選択可能。
ニードル一体型タイプで、更なる省スペース化に貢献。

樹脂ボディタイプ

1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応。
ワンタッチ式エルボ、ワンタッチ式ストレート、ねじ込み式エルボ、ねじ込み式ストレートの4つから継手を選択可能。
2ポート弁を直接接続可能で、更なる省スペース化に貢献。
ニードル一体型タイプで、更なる省スペース化に貢献。

高精度・高応答

流路の再設計により従来品に比べ最大50%の圧力損失を低減。
流れ方向を順方向、双方向、逆方向の3つから任意に設定可能。
応答時間:50msec

IO-Linkで工場全体をオートメーション化

IO-Link対応で、パラメータやイベントデータの伝送ができ、予知保全が可能。
漏れ検査やエア消費量の管理に最適。

キット貸出開始(日本国内限定)

購入前に流量レンジの確認可能。
お気軽にお申し込みください。
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