SFXCKD
シロキサンの吸着・オゾン分解に特化したリムーバです。 99%の高い除去率で圧縮エア・窒素ガスを加圧状態のまま、大流量で使用が可能になります。 業種:半導体製造工程(後工程)、実装
活性炭エレメントを採用し、シロキサンとオゾンを1台で除去。
圧縮空気・窒素ガスを加圧状態のまま、大流量で使用可能。
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