EVS2シリーズCKD
30mm幅の小形・軽量・高性能を実現した小形電空レギュレータです。
半導体・精密実装分野におけるパイロットレギュレータの制御・各種押圧コントロール、微速シリンダの制御に最適です。
業種：半導体製造工程（後工程）
| ①分解能アップ 0.1％F.S.以下 → 0.05％F.S.以下 ②圧力バリエーション -100kPa(負圧)、200kPa(中圧)、900kPa(高圧)を追加 |  |
| 30×39×57.1（幅×高さ×長さ）。 小形・軽量の為、装置の小型化に貢献。 |  |
電気信号により、流体圧力を高精度・高速応答でコントロール。
繰返し性：0.3%F.S.
分解能：0.1%F.S.
応答時間：0.1sec（無負荷）
2色表示作動インジケータにより、設定圧力時は緑色、設定外の場合とエラー時は赤色で表示。
エア配管：ワンタッチ継手、電気配線：M12継手を採用しており、配管、配線作業が簡単。
