ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズオムロン
透明体も鏡面も粗面も、超高精度・超高速に安定測定
■バタつく、傾く光沢・軽薄・微細部品をインラインで高精度測定
■鏡面（傾斜・曲面）
従来のレーザ変位センサに比べて、光沢面でも傾斜・曲面の高精度な形状測定が可能です。
■透明体
従来では難しかった、薄い透明シールやフィルムの表面と裏面の反射光を分離して測定できます。
■微小体
従来はスポット径が大きく、微小物体の正しい測定ができませんでした。超小スポットにより測りたい所を超高精細に測定可能です。
■測定条件に合わせて選べる 小スポットヘッド群をラインアップ
*1. センサヘッド形ZW-S8010/ZW-S7010/ZW-S5010の場合の代表値です。
*2. 形ZW-8010の代表値。ただし屈折率1.5の透明体の場合。
*3. センサヘッド形ZW-8010の代表値です。
注. 標準的な精度と高速性での測定は、スタンダードタイプのZW-5000をお選びください。
■拡散反射ワークを移動しながら超高速・安定測定
■形状
従来は平均回数の設定で安定性を上げていましたが、形状が鈍るトレードオフも発生していました。ZW-7000では最速20μsの高速サンプリングと、平均化なしでの安定測定により高速・形状測定を実現します。
■粗面＊5の平坦度
従来はワークからの多重反射光が測定値の飛びを誘発し、本来測定したい「平坦度」を把握できませんでした。また、センサヘッドの向きとヘアラインの方向によっては、さらにばたつきが大きくなります。白色共焦点変位センサなら、多重反射光の影響を受けずに真の形状に近い平坦度を1回で測定できます。
*4. 形ZW-S7030以外のデータについては当社販売員にお問い合わせください。
*5. 切削痕、ヘアラインなどのあるワークです。
*6. 形ZW-S7020 の場合。
*7. 形ZW-S7020以外のデータについては当社販売員にお問い合わせください。
注. 掲載している測定グラフはすべて代表例です。測定対象物の形状や材質によっては測定に影響が出ることがあります。実際のご使用においては事前に実機でのご確認をお願いします。
■超小型ヘッド追加でさらに組み込みを自在に
製品の薄型化や曲面化、小型化などの進化により、検査工程も高難度化しており、上流の組立工程の見える化や組付け制御が必要になっています。
そこでオムロンでは測定距離の長い角型タイプのほか、狭小スペースにも組み込める超小型ペン型タイプ（ストレート・ライトアングル）をラインアップしました。
■構造物やロボット、ステージに干渉しにくい
ペン型ストレートタイプ
測定範囲
7±0.3mm/10±0.7mm
分解能＊1：2nm
リニアリティ：±0.3μm
重量＊2：約27g
注．代表値
ペン型ライトアングルタイプ
測定範囲
7±0.3mm/10±0.7mm
分解能＊1：3nm
リニアリティ：±0.45μm
重量＊2：約31g
注．代表値
■シビアな検査精度にも対応
角型ストレートタイプ
測定範囲
10±0.5mm/20±1mm/30±2mm/40±3mm＊3
分解能＊1：2nm
リニアリティ：±0.3μm
重量＊2：約170g
注．代表値
＊1. 測定範囲全域。
＊2. ZW-8000/ZW-7000シリーズのファイバケーブル長0.3mの場合。
＊3. 40mmタイプはZW7000シリーズのみ。
■工程省略：センサヘッドの回転工程が不要
従来は、受光素子への反射位置でワーク高さを測定していたため、測定対象物の形状や移動方向に合わせてセンサヘッドを回転させる工程が必要でした。
白色共焦点変位センサなら方向の制約がなく、同一設置であらゆる方向への移動測定が可能です。
■可動部にも安心、耐屈曲ファイバケーブル
コントローラとセンサヘッドは、直径3mmの耐屈曲ファイバケーブルで接続。 300万回の屈曲テスト＊2をクリアし、可動部への使用にも安心です。
＊オムロン規定の評価条件「曲げ半径（20mm）×300万回」
■移動測定でも安心：ケーブルベア配線対応
プリアンプ・光学部品がファイバケーブルに組み込まれていないので、ケーブルベアや配線保護管の中に配線をする移動測定でも安心してご使用いただけます。
延長用ケーブルで大型装置に対応
30mの延長ケーブルを接続すれば、最大32mまで延長でき、大型装置へのフレキシブルな引き回しが可能です。
■コンパクトなファンレスコントローラ
光源と分光器の光学ユニットと、センサコントローラが一体になったコンパクトサイズなので、制御部にDINレールで省スペース取付けができます。また、ファンレス構造のため、半導体や電子部品のクリーンルームでも安心してお使いいただけます。
■時間短縮：複数センサで同時測定
従来のレーザ変位センサのサイズでは、スペース制約で複数センサの並列測定が難しかったケースでも、ペン型ストレートヘッドの密着取付で時間短縮が可能です。
測定ポイントのズレなし
従来は、高さによって測定ポイントやスポットサイズが変わるため、たわみや傾きの影響で狙った位置を的確に測定できない場合がありました。白色共焦点変位センサなら測定範囲のどの位置でも同じ測定ポイントで的確に測定できます。
狭所や壁際での測定が可能
従来は、細管の奥や微小な凹部の高さを測定する際、反射光が壁面に遮られたり、都度センサやワークの向きを調整する必要がありました。白色共焦点変位センサなら、照射光と反射光が対象物に対し同軸となるため、設置方向に関係なく狭所や微小な対象物の測定が可能です。
■EMC対策・熱設計の工数削減
EMC対策
センサヘッドはノイズや熱の発生源となる電子部品や表示灯を完全に排除。
電気ノイズ・磁気ノイズの影響を受けない構造なので、ノイズが発生しやすい場所でも安定して使用できます。
また、ノイズや熱も出さず、周囲の機器や治具伸縮による測定値への悪影響がありません。
熱設計
従来の2点スケーリングでは補正しきれなかった斜め取付けやガラス越しの測定も、ZWなら最大10点までの多点スケーリングによるチューニングを実現＊1。安定した測定が可能です。
白色光源＊2を採用し、従来のレーザ光源では必要であった設備の安全対策や作業従事者への安全教育が不要です。
■従来はレーザ使用の安全対策が必須
白色LED＊を光源に採用しているため、従来のレーザ光源では必要であった設備への安全対策にかかっていた時間や作業従事者への安全教育の時間が不要となります。
＊2. ZW-8000はレーザクラス1に該当します。
センサヘッドとセンサコントローラは互換性があるので、余計なコストをかけずに、迅速に復旧が可能です。
また、センサヘッドには個体ごとの補正値をセンサコントローラに伝えるキャリブレーションROMを附属。互換性と高精度測定を両立しています。
