EVBシリーズCKD
モータ駆動により、弁の開度を多段制御して、多彩なコンダクタンスを実現した電動真空弁EVBシリーズ。
■モータ駆動で開度設定30点
外部信号によりモータ駆動で開度調整。
最小ピッチ0.15mm（NW25の場合）。
簡易的なコンダクタンス可変のシステムや、真空制御の自動化に最適。
■弁閉は実績あるスプリングシール
停電など、電源が切れた場合でもスプリングにより強制的に弁閉動作するため安全。
■開度監視機能、各種信号出力
内蔵エンコーダで現在開度を監視。位置決めの完了信号出力、各種アラーム出力機能。
■寿命・シール性抜群
高真空用エアオペレイトバルブAVB※※7シリーズにて実績のあるベローズを採用。
一般的バタフライ弁方式に比べ、寿命・シール性で信頼性の高いポペット方式。
（公称寿命100万回（CKD試験による）・シール性は従来のAVBシリーズ相当）
■取付けの互換性
取付方法はISO21358に準拠。AVB※※7シリーズと取付寸法の互換性があります。
■RoHS指令に対応
地球環境に有害な物質（鉛、六価クロムなど）を排除しました。
■万全な清浄度管理体制
製品は、加工から組立、検査、包装まで、一貫した品質管理体制の下で製造されており、清浄度を含め高いクオリティを備えています。
■ソフト排気用のエアオペレイトバルブ（二段形）AVB※47シリーズに代わる、3段以上の用途に。
■エアオペレイトバルブ（二段形）で不可能だった、開度監視（信号出力）が必要な場合に。
■遠隔操作で排気系を制御したい場合に。
■排気系のコンダクタンスを可変し、チャンバ内の状態を安定させる用途に。
| 項目 | EVB317 | EVB417 | EVB517 |
|---|---|---|---|
| 使用流体 | 真空および不活性ガス | ||
| 使用圧力範囲（Pa（abs）） | 1.3×10-6〜1×105 | ||
| 設定ポイント | （ストロークを等分割した）30ポイント | ||
| 分解能（mm） | 0.15 | 0.30 | 0.40 |
| 繰返し精度（mm） | 0.10 | 0.15 | 0.20 |
| 使用最大差圧（MPa） | 0.1 | ||
| 弁座漏れ（Pa・m3/s（He）） | 1.3×10-10以下 | ||
| 外部漏れ ※1（Pa・m3/s（He）） | 1.3×10-11以下 | ||
| 耐圧（MPa） | 0.3 | ||
| 使用流体温度範囲（℃） | 5〜60 | ||
| 使用周囲温度範囲（℃） | 5〜50（ただし、結露、凍結なきこと） | ||
| 使用湿度範囲（％） | 35〜85（ただし、結露、凍結なきこと） | ||
| 保存湿度範囲（％） | 35〜85（ただし、結露、凍結なきこと） | ||
| 使用雰囲気 | 腐食性ガスなきこと | ||
| オリフィス（mm） | φ24 | φ39 | φ48 |
| コンダクタンス ※2（ℓ/s） | 13 | 43 | 74 |
| 接続方式 | NW25 | NW40 | NW50 |
| 質量（Kg） | 1.1 | 2.6 | 3.3 |
※1：外部シールのOリングには、高真空用グリースを使用しております。
※2：コンダクタンスの値は分子流域においての理論計算値であり、実測値ではありません。
