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【NEW】耐環境仕様(IP65)追加
1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応可能な流量センサです。
業種:シールドガス、半導体製造工程(後工程)、N2パージ関連機器
流量センサ機能・比例制御機能・バルブ機能をユニット化し、必要な流量のコントロールをする機器です。
業種:シールドガス、N2パージ関連機器、理化学分析装置
加圧下で酸素濃度を測定できる酸素濃度計です。
ガス精製システムにインライン接続できるため、酸素濃度の常時監視が可能となり、システムの異常や保全時期の把握などにも役立ちます。
業界初、双方向での流量計測が可能!
優れた応答性を継承しつつ、
最大1000L/minまでレンジ拡大。
更に操作性を追及したツイン&2色表示、
オートリファレンス機能を搭載し
使い易さを大幅に向上させました。