WXUシリーズCKD
フットプリント80％レス（2流体制御タイプ）
配管レス・ユニット化により設置スペースを大幅に削減
水を使用して熱源・チャンバー等を冷却する回路をもつ装置
（半導体製造装置、太陽電池製造装置等）向けに、流体制御や流量制御および流量監視機器を組み合わせたユニットです。
豊富なバリエーションの水制御機器が省スペースにオールインワン
●個別配管の手間を省く
●配管の漏れを低減
●設計・手配の工数を低減
●冷却配管のサプライとリターンを1ユニットで行うことができます。
●サプライ側とリターン側それぞれにバルブの搭載が可能です。
●コックタイプバルブを採用することにより、ワンアクションで開閉操作ができ、目視での確認が容易です。
●インブロック、バルブハウジングの軽量化により、取扱が容易です。
●冷却配管のサプライとリターンを1ユニットで行うことができます。
●サプライ側には、バルブとニードルが搭載可能であり、系統毎に個別制御（on/off）が可能です。
●ニードル搭載で流量の調整が容易です。
●サプライとリターンユニットを使用して、2種類の流体（水・空気等）を流すことができます。
●スパッタリング装置等、冷却水と空気を持つ回路に適しています。
●系統毎に個別制御（通水/エアーパージ）が可能です。
