MV3QRA1・MV3QRB1シリーズCKD
正圧源不要！すべての機能をコンパクトに集約
真空離脱の際、正圧源を使用しないため、極小チップの吹き飛ばしの心配がありません。
●正圧無しの真空離脱により極小チップの吹き飛ばし対策不要
●面倒な破壊圧力・流量及びタイミング調整の必要なし
●真空破壊バルブをなくしスリム化
●従来の破壊付ユニットから、設置面積44％、質量53％削減し、製造装置の小型化に最適
●極小スペースでも設置が可能、装置設計の自由度が増大
●軽量化により、装置の可動部への設置に有利
●真空用圧力センサをユニットに搭載し、コンパクト化
●負圧の検出も省スペースで実現
●圧力センサの締結はクリップ式を採用し、メンテナンス性を向上
●配管途中にフィルタを設置する必要なし
●真空用フィルタはワンタッチで交換、メンテナンス性向上
| 項目 | 3QR負圧切換ユニット | |
|---|---|---|
| センサなしタイプ MV3QR | センサ搭載タイプ MV3QR※-V1 | |
| マニホールド連数 | 2〜10連 | |
| 使用流体 | 低真空 | |
| 最高使用圧力 MPa | 0 | |
| 最低使用圧力 kPa | 低真空：-100 | |
| 耐圧力 MPa | 1.05（低真空：-101kPa） | 0.5（低真空：-101kPa） |
| 周囲温度 ℃ | -5〜50（凍結なきこと） | 0〜50（凍結なきこと） |
| 流体温度 ℃ | 5〜50 | |
| 耐振動/耐衝撃 m/s2 | 50以下/300以下 | |
| 雰囲気 | 腐食性ガス雰囲気での使用は不可 | |
