EVS2シリーズCKD
30mm幅の小形・軽量・高性能を実現した小形電空レギュレータです。
半導体・精密実装分野におけるパイロットレギュレータの制御・各種押圧コントロール、微速シリンダの制御に最適です。
業種:半導体製造工程(後工程)
@分解能アップ 0.1%F.S.以下 → 0.05%F.S.以下 A圧力バリエーション -100kPa(負圧)、200kPa(中圧)、900kPa(高圧)を追加 |
30×39×57.1(幅×高さ×長さ)。 小形・軽量の為、装置の小型化に貢献。 |
電気信号により、流体圧力を高精度・高速応答でコントロール。
繰返し性:0.3%F.S.
分解能:0.1%F.S.
応答時間:0.1sec(無負荷)
2色表示作動インジケータにより、設定圧力時は緑色、設定外の場合とエラー時は赤色で表示。
エア配管:ワンタッチ継手、電気配線:M12継手を採用しており、配管、配線作業が簡単。