シロキサン・オゾンリムーバ| 株式会社 FA techno （エフ・エー・テクノ）

新商品情報

SFXCKD

シロキサンの吸着・オゾン分解に特化したリムーバです。
99％の高い除去率で圧縮エア・窒素ガスを加圧状態のまま、大流量で使用が可能になります。

業種：半導体製造工程（後工程）、実装

活性炭エレメントを採用し、シロキサンとオゾンを1台で除去。

圧縮空気・窒素ガスを加圧状態のまま、大流量で使用可能。

99％以上のシロキサン吸着性能・オゾン分解性能。

CKD調質機器とモジュール接続が可能で省配管を実現。

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