ZN-PDオムロン
パーティクルを常時測定！
外気の吸引に高性能ファンを採用することで、長時間の常時測定を可能にしました。センシング部には、半導体レーザと高感度光学設計により、0.3μmの微粒子測定を実現しています。
センシング部には、クリーン度が一目で視認できるパーティクルトレンド表示を搭載。
アンプ部は、0.3μm/0.5μm/1.0μmの微粒子を数字で表示。
しきい値を設定すれば、任意のパーティクル量で、信号を出力できます。
10台までのパーティクルセンサと、9台までのエアクリーンユニットを、1つのインターフェースユニットとリアルタイム・クリーンエアモニタでコントロール。面倒な電源投入順序などの制限はありません。
工程毎のクリーン度管理ができ、品質データと関連づけて常時監視が可能です。
| 形式 | 形ZN-PD03（センサヘッド）/形ZN-PDA11（アンプ） |
|---|---|
| 測定粒子 | 0.3μm/（0.5μm）/1.0μm |
| 吸気方式 | 内蔵ファン |
| サンプリング時間 | 1〜599s |
| 電源電圧 | DC24V±10％ |
