メカトロ機器/空圧機器
FRL関連・真空用機器・補助機器
AGD※※R-HDFシリーズCKD
高頻度プロセスに対応したエアオペレイトバルブ 独自のアクチュエータ構造で、耐久性1,000万回を保証。（CKD実績） 単品バルブにも集積弁にも対応可能です。
■耐久性：1.000万回保証※ ■高温対応：200℃ ■集積化ガス供給システムに対応：IAGD4（1.5inch）、IAGD5（1.125inch） ■応答安定アクチュエータ搭載 ※使用流体が仕様範囲の不活性ガスで、流体中に反応生成物等の固形物を含まない場合
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