センシング精度を追求した最適化センサヘッド

■拡散反射タイプ
測定中心距離最大1500mmで、離れた所のポイント計測に最適。

■正反射タイプ
分解能最小0.001μmでガラス・ウエハなどの精密計測が可能。

検出対象を選ばない

計測精度を決めるリニアリティ特性の固体ばらつきを低減。これにより、あらゆる検出対象物への導入がしやすくなりました。

超安定性

レーザ変位計の苦手とする、レーザ光の染み込み、透過、多重反射、光量不足などを引き起こす計測対象物も、オムロンのセンシング技術と新開発の計測アルゴリズムにより安定・高精度測定が可能になりました。