AGD1※R-HDシリーズCKD
高頻度プロセスに対応したエアオペレイトバルブ !
【受注生産品】
■耐久性：1,000万回保証※（従来品：100万回保証）
■集積弁に搭載可能（従来品との置換え可能）
■単品バルブ対応可能
※使用流体が仕様範囲の不活性ガスで、流体中に反応生成物等の固形物を含まない場合
| 項目 | AGD1※R-HD |
|---|---|
| 使用流体 | 不活性ガス・プロセスガス |
| 使用圧力 Pa(abs)〜MPa(G) | 1.3×10-6〜0.99 |
| 流体温度 ℃ | 5〜80 |
| 使用周囲温度 ℃ | 5〜80 |
| 保存周囲温度 ℃ | -10〜80 |
| 弁座漏れ Pa・m3/s(He) | 1.0×10-10以下（初期） 1.3×10-9以下（動作後） |
| 外部漏れ Pa・m3/s(He) | 2.8×10-12以下 |
| Cv値 （23℃、加圧下） | AGD1※R-HD 0.3 MAGD5-R-HD 0.26 |
| 接続方式 | 1.125″、Wシール（呼び6.35） 1/4″JXR継手（VCRと接続可能） |
| 操作圧力 MPa | NC 0.4〜0.6 NO 0.4〜0.5 |
| 操作ポート | M5 |
| 耐久性 | 保証：1000万回（実績：3000万回以上） |
| バリエーション | NC、NO、ブロック弁、近接スイッチ付（オムロン社製） |
